อินเทลประกาศลงทุนในบริษัท ASML Holding NV ผู้ผลิตเครื่องจักรสำหรับผลิตชิปสัญชาติเนเธอร์แลนด์ โดยมูลค่าการลงทุนรวมทั้งหมดประมาณ 4,100 ล้านดอลลาร์ จุดประสงค์หลักเพื่อพัฒนากระบวนการผลิตชิปด้วยแผ่นเวเฟอร์ขนาด 450 มิลลิเมตร และกระบวนการ lithography ด้วยแสง extreme ultra-violet (EUV)
หากกระบวนการทั้งหมดผ่านไปได้ด้วยดี ภายใน 5 ปีข้างหน้า อินเทลจะเข้าไปถือหุ้นของ ASML ทั้งหมด 15% และจ่ายเงินลงทุนเพื่อการวิจัยไปอีก 1020 ล้านดอลลาร์
กระบวนการผลิตชิปด้วยเวเฟอร์ขนาดใหญ่ช่วยลดค่าใช้จ่ายรวมต่อชิปลง โดยการอัพเกรดกระบวนการผลิตครั้งล่าสุด อินเทลลดค่าใช้จ่ายในการผลิตชิปไปได้ 30-40% หลังการอัพเกรด คาดว่าการอัพเกรดไปเป็นเวเฟอร์ขนาด 450 มิลลิเมตรก็จะลดต้นทุนได้มากเช่นเดียวกัน
ส่วนกระบวนการ EUV นั้นเป็นกระบวนการที่คาดว่าจะทำให้ผลิตชิปด้วยความละเอียดสูงได้โดยคาดกันว่าเทคโนโลยีนี้จะใช้ในกระบวนการผลิตระดับสิบนาโนเมตร แต่อินเทลเคยระบุว่า EUV นั้นพัฒนาได้ช้าเกินไป และหากจะให้เป็นไปตามแผนของอินเทล ASML ต้องส่งมอบเครื่องชุดแรกให้ได้ภายในครึ่งแรกของปี 2012